03月18日这天,证券之星提到力合科技在投资者平台上回答了大家的提问。有人问公司在半导体车间的AMC监测业务方面有啥新动静。力合科技的董秘回复说,自家研发的LFGCMS-100系统挺牛的,把VOCs在线富集、GC-MS和FID联用检测这些功能全集成在一起了。靠着这一套设计,再加上多平台软件的配合,它能连续检测出100多种VOCs组分,实现24小时不间断的定性和定量监测。这个系统现在已经用来检测半导体车间的空气了。 接着又有投资者好奇,公司用不用化学电离飞行时间质谱法技术来做半导体AMC监测。董秘解释说,现在的方案涵盖了颗粒物、无机气体还有挥发性有机气体的全套监测,暂时还没用到那个化学电离飞行时间质谱法。最后还有人问浓度控制能不能达到ppt级。董秘回答说,现在的方案里有针对颗粒物和气体的整套方案,有些参数确实能做到ppt级。