山金 Kofloc 科赋乐 3760-1/4SW-N2-5SLM 质量流量控制器。你手头的是Kofloc 3760系列的MFM和MFC，主要做中小流量控制。还有个3765系列，是同一厂家的大流量型号，特别能对付30到100 SLN的高流量场景。 先说环境这块儿，干活的温度得在5到45摄氏度之间，放着不动的时候也得是-10到60度才行。周围的湿度得卡在10%到90%RH里，绝对不能结露。 材质方面，主体用的是SUS316L不锈钢，密封圈是FKM材质，看情况也能换NBR或者CR。 电气接口方面，用的是D-sub 9针接口，符合KFC标准，也兼容SEMI标准。信号输出是0到5VDC，负载电阻要大于250kΩ。电源要求得给它+15VDC或者-15VDC，都得带±5%的波动，功率也得限制在100mA以内。 这产品个头不大，挺紧凑的，是基于3660系列优化来的。成本也不高。科研院所还有大学里的分析仪器、真空设备研发都挺爱用这个。 这个控制器能测多种气体，不过它的精度是按氮气N₂标定的。如果用别的气体测量，得用CF值去校正才行。响应速度快、重复性高，特别适合搞自动化控制和精密的气体管理。 不过有几个注意事项：只能用在干燥、没腐蚀性成分、没粉尘和油雾的干净环境里。换了气体种类就得重新设CF值了。算出来的数据只能用来补偿一下参考用，修正后的精度可不做保证。模拟输出信号可以在设备上自己去调一调。